Tööstuslikud PVD komposiit-sadestamise seadmed on loodud mitme-komponendi, mitmekihilise ja nano-komposiitõhukeste{3}}kilede tootmiseks. Süsteem integreerib termilise aurustamise, e-kiire aurustamise ja magnetroni pihustusallikad ühte vaakumkeskkonda, et kontrollida kile koostist, liidese teravust ja jääkpinget. Pidevaks teadus- ja arendustegevuseks ning tootmiseks loodud arhitektuur sisaldab madalat baasrõhku, modulaarset allika konfiguratsiooni ja puhast hooldust.
Tehnilised andmed
|
Parameeter |
Spetsifikatsioonivahemik / väärtus |
|
Ülim vaakumrõhk |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (cryo/turbomolecular configuration) |
|
Pumba{0}}seisakuaeg |
Atmosfääriline kuni 6,0 x 10^-4 Pa tolli<= 15 minutes (clean, dry, empty chamber) |
|
Substraadi hoidiku suurus |
Kohandatud konfiguratsioonid: kuni läbimõõduga . 600 mm lamedad plaadid või planeedid |
|
Kile paksuse ühtlus |
< +/- 1.5% across standard working area (verified via in-situ optical monitoring) |
|
Substraadi temperatuurivahemik |
Ümbritsev temperatuur kuni 800 °C (PID kontrollitud, kvartshalogeen/takistuslik kuumutus) |
|
Sadestumise allikad |
Mitme-taskuga e-kiirrelvad, termopaadid ja RF/DC magnetronkatoodid |
|
Kambri materjal |
304L/316L roostevaba teras, elektro-poleeritud siseseinad (Ra<= 0.2 um) |
|
Süsteemi juhtliides |
PLC + IPC arhitektuur, automatiseeritud retseptide täitmine, SCADA logimine |
Põhifunktsioonid
Modulaarse allika integreerimine:Kambri pordid võimaldavad aurustus- ja pihustusallikate samaaegset või järjestikust tööd ilma ristsaastumiseta.
Substraadi dünaamiline manipuleerimine:Mitme-teljega planetaar- või pöörlemismehhanismid tagavad keerukate 3D-aluspindade ja sügavate kaevikute ühtlase katte.
In-Situ jälgimispordid:Eeljoondatud äärikud kvartskristallide mikrotasakaalu (QCM), optilise emissioonispektroskoopia (OES) ja lairiba optilise seire (BOM) jaoks.
Kõrge puhtusastmega-vaakumi terviklikkus:Metall-tihendatud konflat (CF) äärikud, pneumaatilised paisuventiilid ja heeliumi massispektromeetri lekketestid kuni 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s.
Automatiseeritud blokeeringu ohutus:Reaalajas{0}}anduri tagasiside kaitseb jahutusvee katkemise, suruõhu kadu ja üle-temperatuuri anomaaliate eest.
Vaakumsüsteemi konfiguratsioon
Roughing & Roots pumbad:Õlivabad-kruvipumbad koos juurpuhuritega takistavad süsivesinike tagasivoolu protsessikambrisse.
Kõrge{0}}vaakumpumbad:Magnetilise levitatsiooniga turbomolekulaarpumbad või suletud{0}}ahelaga heeliumi krüogeensed pumbad, mis on valitud gaasikoormuse sihtnõuete järgi.
Rõhu reguleerimine:Mahtuvusmanomeetritega integreeritud drosselklapi kontrollerid säilitavad reaktiivjooksude ajal stabiilse protsessirõhu (0,1 Pa kuni 10 Pa).
Materjalide ja substraadi ühilduvus
Sadestamismaterjalid
Metallid:Ti, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Mo, W, Pt
Oksiidid ja dielektrikud:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Nitriidid ja karbiidid:TiN, TiAlN, CrN, Si3N4
Substraadi materjalid
Pooljuhid:Räniplaadid (100 mm kuni 300 mm), klaas, kvarts, safiir
Metallid ja sulamid:Roostevaba teras, titaanisulamid, tööriistateras, supersulamid
Keraamika ja polümeerid:Alumiinium-, tsirkoonium-, polüimiidkiled
Rakendused
Optiliste häirete filtrid:Mitmekihilised peegeldusvastased-katted (AR), ribapääsfiltrid ja kõrge-peegeldusega peeglid laseritele ja anduritele.
Kulumiskindlad-kõvad katted: Nanokomposiitnitriidkatted (TiAlN/Si3N4) täppislõiketööriistadel ja autode klapiratastel.
Mikroelektroonilised õhukesed kiled:Juhtivad tõkkekihid, seemnekihid ja kontaktmetalliseerimisvirnad pooljuhtide pakendamiseks.
Funktsionaalsed energiakiled:Läbipaistvad juhtivad oksiidid (TCO) ja neeldumiskihid fotogalvaanilistele ja anduritele.
Kohandamise valikud
Kambri mõõtmed:Skaalatud maht teadus- ja arendustegevuse skaalalt (400 mm kuup) tootmismahuni (läbimõõt . 1200 mm silindriline).
Allika pordi paigutused:Kohandatud ääriku positsioneerimine kolmanda osapoole iooniallikate, plasma-sadestamise (PAD) või RF-nihkegeneraatorite integreerimiseks.
Laadi{0}}Luku integreerimine:Käsitsi laadimise-luku, ühe-vahvlilaadimise-luku või mitme-kambriga klastri tööriista konfiguratsioonid oksüdatsiooni vältimiseks.
Kvaliteedikontroll ja ülemaailmne vastavus
Ülemaailmne elektri- ja ohutusnõuetele vastavus:Juhtkapid, mis on ehitatud vastavalt UL 508A / NFPA 79 (Põhja-Ameerika), CE (Euroopa) ja SEMI S2/S8 EHS juhistele.
Vaakumtestimine:Keevitatud kambrites tehakse heeliumi massispektromeetri lekketuvastus enne pinna viimistlemist.
Mõõtmete kontroll:Koordinaatide mõõtmismasin (CMM) kontrollib allika paigaldustasapindu ja aluspinna tolerantse.
Tehase vastuvõtmise test (FAT):72-tunnine pidev kuiva{2}}töötamise test, mis salvestab baasrõhu vähenemise, allapumba kõverad ja PLC vastuse logid.
Paigaldus ja tehniline tugi
Paigalduseelne-tehnika:Rajatiste nõuete käsiraamatute esitamine (kommunaalteenused, jahutusvee vooluhulk/rõhk, väljatõmbeventilatsioon, puhta ruumi põranda laadimine).
Kohapealne kasutuselevõtt-:Teenindusinsenerid jälgivad taglast, vaakumliini ühendamist, elektriühendust-ja esialgset pumpa-alla.
Protsessi häälestamise abi:Kliendi insenerimeeskondadega tehakse koostöökatseid, et kontrollida kile ühtlust ja sadestuskiirust.
Elutsükli tugi:Kaugdiagnostika mooduli integreerimine PLC reaalajas{0}}tõrkeotsinguks, mida toetab lokaliseeritud varuosade laovaru.
Korduma kippuvad küsimused
K: Mis on kohandatud süsteemi teostusaeg?
V: Standardkonfiguratsioonid nõuavad 16–24 nädalat alates joonise kinnitamisest kuni tehase valmisolekuni, olenevalt vaakumpumba tööajast.
K: Kuidas hallatakse ristsaastet-mitme-allika kaas{2}}sadestamise ajal?
V: Kambrites on allikate vahel füüsiline varjestus, üksikud allikaluugid ja suunatavad gaasijaotusrõngad, et vältida tahkete osakeste migratsiooni.
K: Kas seda seadet saab integreerida puhasruumi rajatisse?
V: Jah. Süsteemid toetavad-seina (kollane ruum / puhasruum) paigaldamist, protsessikambri paigutamist puhasruumi ja kommunaalteenuste riiulid teenindusse.
K: Millised kommunaalteenuste nõuded tuleb enne tarnimist ette valmistada?
A: Requirements include 3-phase power (configured to local 480V/380V standards), chilled cooling water (18 deg.C to 22 deg.C, >= 3 bar), suruõhk (6 baari kuiv/filtreeritud) ja spetsiaalne töötlemispumba väljalasketoru.
Kuum tags: pvd komposiit-sadestusseadmed, Hiina pvd komposiit-sadestusseadmete tootjad, tarnijad, tehas
