Toote ülevaade
Tööstuslik katoodkaare aurustussüsteem on tootmiskvaliteediga -füüsilise aurustamise-sadestamise (PVD) platvorm, mis on loodud kulumis---, korrosiooni--- ja vähese hõõrdumisega{3}}kõvade kattekihtide pealekandmiseks. Madala -pinge ja suure voolu- elektrikaare kasutamisel aurustatakse ja ioniseeritakse tahked katoodi sihtmärgid kohe katoodipunktis, tekitades tugevalt ioniseeritud metallplasma.
See süsteem on konstrueeritud ja toodetud ISO 9001 kvaliteedijuhtimisstandardite ja CE-vastavusdirektiivide kohaselt ning see on konfigureeritud suure-läbilaskvusega katmisoperatsioonide jaoks tööriistatootmise, autoosade ja tööstusliku riistvara sektorites. Standardkonfiguratsioonid integreerivad mitme-katoodi paigutust sõltumatu magnetvälja juhtimisega, programmeeritavad alalis-/impulsspinge toiteallikad ja automaatne vaakumjuhtimine, et säilitada ühtlane kile stöhhiomeetria ja tihedad mikrostruktuurid.
-
![Kaaraurustamise õhukese kile süsteem]()
Kaaraurustamise õhukese kile süsteemTööstuslik katoodkaarega aurustusõhukeste kilede süsteem on loodud tihedate, tugevalt kleepuvate metalli-, sulami- ja keraamiliste kattekihtide{0}}kiirusel sadestamiseks. Madala -pinge ja...Vaata veel -
![Kaaraurutuse PVD-seadmed]()
Kaaraurutuse PVD-seadmedTööstuslik katoodkaare aurustus-PVD-süsteem kasutab madala{0}}pinge ja kõrge voolu-elektrikaari, et aurustada tahke katoodi sihtmärke vaakumkeskkonnas. See mehhanism saavutab metallide...Vaata veel -
![Vaakumkaare õhukese kile süsteem]()
Vaakumkaare õhukese kile süsteemTööstuslik vaakumkaare õhukeste kilede süsteem kasutab katoodkaare aurustamist tihedate, tugevalt kleepuvate metalli-, sulami- ja keraamiliste õhukeste kilede sadestamiseks. Kõrge -vool,...Vaata veel -
![Katoodkaare õhukese kile seadmed]()
Katoodkaare õhukese kile seadmedFüüsilise aurustamise-sadestamise (PVD) süsteem, mis kasutab lokaliseeritud madal{0}}pinge ja kõrge voolu-elektrikaari, et aurustada tahke katoodsihtmärgid täielikult ioniseeritud plasmaks. Kõrge...Vaata veel -
![Kaaraurustamise-sadestamise seadmed]()
Kaaraurustamise-sadestamise seadmedTööstuslik füüsikalise aurustamise-sadestamise (PVD) platvorm, mis on loodud tihedate, kulumiskindlate-ja funktsionaalsete kõvade katete kiireks sünteesiks. Tugeva-voolu,...Vaata veel -
![Kaaraurustamise õhukese kile seadmed]()
Kaaraurustamise õhukese kile seadmedSee katoodkaare aurustussüsteem aurustab tahke katoodi sihtmärgid madala-pinge ja kõrge vooluga-elektrikaare kaudu, et tekitada täielikult ioniseeritud metallplasma. Võrreldes tavalise termilise...Vaata veel
Tehnilised andmed
|
Parameeter |
Spetsifikatsioonivahemik / standardkonfiguratsioon |
|
Kambri mõõtmed |
Läbimõõt: 800 mm - 1800 mm (kohandatavad vertikaalsed/horisontaalsed paigutused) |
|
Kambri materjal |
Kahe-seinaga roostevaba teras SUS304 sisemiste vesijahutuskanalitega- |
|
Ülim vaakumrõhk |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Katoodi konfiguratsioon |
4 kuni 12 ristküliku-/ringkaareallikat elektromagnetilise juhtimisega |
|
Kaare toiteallikas |
300A - 500Reguleeritav konstantne vool, pulsatsioon<= 2% |
|
Substraadi eelpinge võimsus |
0 kuni -1000 V reguleeritav, impulsi eelpinge sagedus 10 kHz - 100 kHz |
|
Küttesüsteem |
Kiirgusküttekeha massiiv, maksimaalne temperatuur 600 kraadi +/- 5 kraadi ühtlus |
|
Töödeldava detaili pööramine |
Planetaarne või kahe{0}}teljega pöörlemine, mida juhib magnetilise vedeliku läbivool |
|
Juhtimissüsteem |
PLC + tööstusarvuti, retseptipõhine-automaatne järjestuse juhtimine |
|
Nõuded utiliidile |
Jahutusvesi: 0,25-0,35 MPa, 20-25 kraadi ; Võimsus: 380V/480V, 3-faasiline, 50/60 Hz |
Kaare aurustamise protsess
Sadestamise tsükkel toimib range protseduurilise kontrolli all, et tagada kile terviklikkus ja liidese adhesioon:
Evakueerimine ja gaasi eemaldamine:
Vaakumkamber pumbatakse alla baasrõhuni. Aluspindu kuumutatakse vaakumis, et eemaldada pinnalt lenduvad ained ja jääkniiskus.
01
Plasma söövitamine (puhastamine):
Metalliioonidega pommitamine (kasutades titaani või kroomi sihtallikaid) puhastab substraadi pinda aatomitasandil, eemaldades natiivsed oksiidid ja aktiveerides liidese.
02
Reaktiivne sadestumine:
Reaktiivsed gaasid (N2, CH4, O2) süstitakse kambrisse massivooluregulaatorite (MFC) kaudu, et reageerida metalli plasmavooga (nt Ti, Cr, AlTi), moodustades liitkiled, nagu TiN, TiAlN või CrN.
03
Jahutus ja õhutus:
Sadestamisjärgne jahutamine- toimub kaitsva inertgaasi atmosfääris enne kambri õhutamist ja osade väljavõtmist.
04
Toetatud katoodsihtmärgid
Titaan (Ti) ja titaanalumiinium (TiAl):Standardsete TiN-i ja kõrge -oksüdatsioonikindlusega-TiAlN-katete alusmaterjalid (taluvad oksüdatsioonile kuni 900 kraadini).
Kroom (Cr):Kasutatakse dekoratiivse viimistluse ja{0}}korrosioonikindlate CrN/CrC kihtide jaoks.
Tsirkoonium (Zr) ja titaanräni (TiSi):Kasutatakse spetsiaalsete dekoratiivsete ja äärmise kulumiskindlate{0}}nanokomposiitkilede jaoks.
Ühilduvad alusmaterjalid
Kiir{0}}teas (HSS):Keerdtrellid, otsfreesid, pliidiplaadid ja avasid.
Tsementeeritud karbiidid (WC{0}}Co):Indekseeritavad vahetükid, hõõritsad ja vormimisvormid.
Tehnilised terased ja sulamid:Autode klapikomponendid, hammasrattad, roostevabast terasest sanitaartehnika ja titaanist meditsiinilised implantaadid.
Rakendused ja mõju jõudlusele
Metalli lõikamise tööriistad:
TiAlN- ja AlCrN-katete ladestamine karbiidist sisetükkidele ja otsfreesidele, pikendades tööriista eluiga 200% kuni 300% ja võimaldades kiiret{2}}kuivat töötlemist.
Vormimis- ja stantsimisvormid:
Tihedate, madala hõõrdumisega{0}}katete pealekandmine, et vähendada kleepuvat kulumist, lõhenemist ja tooriku kleepumist sügavtõmbamise ajal, vähendades seisakuaega kuni 40%.
Auto jõuülekanne:
Kolvirõngaste, kütuse sissepritsetihvtide ja kraanide töötlemine piiri hõõrdeteguri minimeerimiseks alla 0,15 ja kulumise vältimiseks.
Tööstuslik riistvara ja sanitaarsegisti:
Kõvad dekoratiivsed PVD-kihid (TiN-kuld, roosakuld, must tsirkoonium), mis läbivad minimaalselt 500-tunnise neutraalse soolapihustustesti (ASTM B117).
Kohandamine ja protsesside konfigureerimine
Seadmete paigutused skaleeritakse vastavalt tootmismahule, osade geomeetriale ja tehase jalajäljele:
Kambri geomeetria:
Raskete tööriistade vertikaalsed laadimiskonstruktsioonid; horisontaalsed partii konfiguratsioonid suure{0}}võimsusega inventari laadimiseks.
Allika integreerimine:
Hübriidkonfiguratsioonid, mis ühendavad katoodkaare allikaid tasakaalustamata magnetroni pihustuskatoodidega (RMS), et sadestada sujuvaid tilkadeta{0}}mitmekihilisi arhitektuure.
Filtreerimissüsteemid:
Valikulised magnetilised makroosakeste filtrid (juhtkaarefiltrid), mis on paigaldatud katoodkanalitele, et kõrvaldada makro{0}}piiskad optiliste või ülisujuvate täppisfunktsionaalsete kattekihtide jaoks.
Automatiseerimisliides:
Integratsioon-valmidus robot-laadimisõlgede ja automatiseeritud juhitava sõiduki (AGV) partii ladumise jaoks.
Struktuuri terviklikkus:Kambrikehad läbivad heeliumi massispektromeetri lekketesti tundlikkuse läve juures<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Elektriohutus ja vastavus:Ehitatud rangelt CE ja IEC elektriohutusjuhiste järgi, sisaldab täielikku isolatsioonitestimist ja avariiohutusblokeeringuid.
Funktsionaalne väljalülitus{0}}(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwelli taane HF1-HF2) on enne saatmist kinnitatud standardsetel testkupongidel.
Paigaldus ja tehniline tugi
Saidi ettevalmistamise pakett:
4 nädalat pärast lepingu sõlmimist esitati põhjalikud kommunaalteenuste paigutuse joonised, mis kirjeldavad üksikasjalikult jahutusvee voolukiirust, väljatõmbeventilatsiooni, põranda kandevõimet ja elektrilanguse spetsifikatsioone.
Kohapealne kasutuselevõtt-:
Tehase-sertifitseeritud protsessiinsenerid tegelevad mehaanilise joondamise, vaakumi lekke tuvastamise, elektrilise integreerimise ja esialgse baasretsepti seadistamisega kliendi rajatises.
Retsepti ülekandmise protsess:
Tarne sisaldab standardseid baasretsepte (TiN, TiAlN, CrN) ning sisemiste hooldus- ja insenerimeeskondade töökoolitust.
Kaugdiagnostika tugi:
Turvaliste tööstuslike ruuteri lüüsidega varustatud süsteemid parameetrite kaugtõrkeotsinguks ja PLC loogikadiagnostikaks.
KKK
Oleme hästi-tuntud kui üks juhtivaid õhukeste õhukeste kaareaurustusseadmete tootjaid ja tarnijaid Hiinas. Kui kavatsete osta kohandatud Hiinas valmistatud õhukese kile kaare aurustamise seadmeid, saate meie tehasest hinnakirja. Hinnakonsultatsiooni saamiseks võtke meiega ühendust.
