Toote ülevaade
See elektronkiirega aurustamise õhukese kile seade on konstrueeritud ülitäpse{0}}füüsikalise aurustamise-sadestamise (PVD) jaoks. Kasutades lähtematerjalide pommitamiseks fokuseeritud suure-energiaga elektronkiirt, saavutab süsteem kõrge aurustumiskiiruse kõrge -sulamistemperatuuriga-metallide, oksiidide ja dielektriliste materjalide puhul.
Modulaarsele vaakum-arhitektuurile üles ehitatud süsteem mahutab mitme{0}}taskuga elektronpüstolid, kohandatavad substraadikinnitused ja täiustatud kohapealse{1}}seire. See teenindab uurimis- ja arenduslaboreid ning suure tootlikkusega-tootmisliine, mis nõuavad ranget kontrolli kile stöhhiomeetria, adhesiooni ja optilise jõudluse üle.
-
![Kõrgvaakumelektronkiirega aurustusseadmed]()
Kõrgvaakumelektronkiirega aurustusseadmedEBE{0}}seeria kõrgvaakumelektronkiirega aurustussüsteem sadestab kõrge-puhtusastmega õhukesi kilesid optiliste, pooljuhtide ja metallurgiliste rakenduste jaoks. Suunates magnetiliselt fokuseeritud...Vaata veel -
![Elektronkiire õhukese kile sadestamise süsteem]()
Elektronkiire õhukese kile sadestamise süsteemElectron Beam Thin Film Sadestussüsteem pakub suunatut, kõrge{0}}puhtusastmega PVD-töötlust täiustatud uuringute ja tööstusliku tootmise jaoks. Kasutades fokuseeritud, magnetiliselt juhitavat...Vaata veel -
![Elektronkiirega vaakumaurustusseadmed]()
Elektronkiirega vaakumaurustusseadmedSee elektronkiirega vaakumaurustussüsteem teostab kõrge -sulamistemperatuuriga-metallide, oksiidide ja dielektrikute füüsikalist aurustamise sadestamist (PVD). Suunates fokuseeritud elektronkiire...Vaata veel -
![Elektronkiire õhukese kile sadestamise seadmed]()
Elektronkiire õhukese kile sadestamise seadmedSee tööstuslik elektronkiire-sadestussüsteem kasutab magnetiliselt fokuseeritud elektronkahureid (3 kW kuni 15 kW), et suunata suure -tihedusega energiavood-vesijahutusega vaskkolletesse....Vaata veel -
![Elektronkiire aurustamise õhukese kile süsteem]()
Elektronkiire aurustamise õhukese kile süsteemEBE--seeria elektronkiirega aurustussüsteem on loodud kõrge -sulamistemperatuuriga-metallide, dielektrikute ja optiliste materjalide füüsiliseks aurustamiseks sadestamiseks (PVD). Kasutades...Vaata veel -
![Elektronkiire aurustamise õhukese kile seadmed]()
Elektronkiire aurustamise õhukese kile seadmedSeeria EBE-V600 on tööstuslik-mastaabis füüsilise aurustamise-sadestamise (PVD) platvorm, mis on loodud optiliste komponentide, pooljuhtseadmete ja täiustatud materjalide täpseks õhukese-kilega...Vaata veel
Tehnilised andmed
|
Parameeter |
Spetsifikatsioonivahemik |
Märkused / Standardkonfiguratsioon |
|
Ülim baasrõhk |
< 5.0 × 10^-6 Pa |
Saavutatakse krüogeensete või turbo{0}}molekulaarsete pumpamisrühmade abil |
|
Kambri mõõtmed |
Kohandatud (500 mm kuni 1200 mm siseläbimõõt) |
304L / 316L roostevaba teras, elektro-poleeritud |
|
E-Püstoli võimsuse reiting |
6 kW kuni 15 kW (mitme{2}}taskupuhastusgeneraatorid) |
Programmeeritav kiire kõrvalekaldumine ja mitme{0}}tiigli indekseerimine |
|
Sadestumise määr |
0,1 nm/s kuni 10 nm/s |
Reaalajas suletud-ahela juhtimine kvartskristallkuvari kaudu |
|
Kile paksuse ühtlus |
< ±1% to ±2% across standard substrates |
Muutuva pöörlemiskiirusega planetaar- või kuppelsubstraadi kinnitus |
|
Substraadi temperatuur |
Ümbritsev kuni 800 kraadi |
Integreeritud kiirgusküte PID termilise tagasisidega |
Seadme peamised omadused
Kõrge{0}}stabiilsusega elektronpüstol:
Sellel on magnetiline läbipaine ja mitme{0}}punkti teravustamine, et vältida lähtematerjalide kohalikku ülekuumenemist ja vältida reaktiivse aurustamise ajal tekkimist.
Moodultiigli disain:
Varustatud 4–6-taskuga indekseeritavate koldega, mis võimaldab mitmekihilist sadestumist ilma vaakumit purustamata.
Täiustatud vaakumblokeering:
PLC{0}}juhitavad pneumaatilised ventiilid, automaatne töötlemine/kõrg{1}}vaakumjärjestus ja blokeeringud kaitsevad jahutusvee rikke ja toitehäirete eest.
Madal-saaste kamber:
Sisemine varjestus kasutab elektro{0}}poleeritud roostevaba terast koos eemaldatavate vooderdistega, et kiiresti vähendada tahkete osakeste tekkimist ja hooldust.
Kilematerjalid ja aluspinnad
Ühilduvad aurustusmaterjalid
Metallid: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Dielektrikud ja oksiidid: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO
Substraadi tüübid
Räniplaadid (2-12 tolli)
Optiline klaas, sulatatud ränidioksiid ja kvarts substraadid
Painduvad polümeerkiled (polüimiid, PET rull-{0}}--rullimoodulite kaudu)
Keraamilised aluspinnad (Al2O3, AlN)
Rakendused
Optilised katted:
Peegeldusvastased (AR) katted, kitsariba-filtrid ja suure-peegeldusvõimega peeglid laser- ja fotoonikasüsteemide jaoks.
Pooljuhtseadmed:
Mikroelektroonika oomiline kontakti moodustamine, värava metalliseerimine ja{0}}tõmbetöötlus.
Optoelektroonika:
Läbipaistvad juhtiva oksiidi (TCO) kihid ja õhukesed kiled OLED-ekraanide ja fotogalvaaniliste elementide jaoks.
Täiustatud teadus- ja arendustegevus:
Uurimuslikud õhukese{0}kile magnetkihid, ülijuhtivad kiled ja mitmekihilised heterostruktuurid.
Kohandamine ja süsteemi konfigureerimine
Iga õhuke{0}}kilesüsteem on konfigureeritud vastama konkreetsete protsessiretseptide ja rajatiste paigutustele. Saadaolevate tehniliste kohanduste hulka kuuluvad:
Pumbakorstna valik:
Turbo-molekulaarpumbad (TMP), krüopumbad või õli-difusioonikonfiguratsioonid, mis on kohandatud vaakumi ja läbilaskevõime põhinõuetele.
Laadi{0}}Luku integreerimine:
Käsitsi laaditav-lukk või automatiseeritud mitme-kambriga klastrisüsteemid, et säilitada üli-kõrge vaakumi terviklikkus ja suurendada vahvli läbilaskevõimet.
In-Situ metroloogia:
Integratsioonipordid spektroskoopiliste ellipsomeetrite, optiliste monitoride või jääkgaasi analüsaatorite (RGA) jaoks.
Juhtimistarkvara:
Patenteeritud PLC/HMI liides koos retseptide salvestamise, andmete logimise ja SECS/GEM sideprotokollidega nutikaks tehase integreerimiseks.
Tootmine ja kvaliteedikontroll
Laeva valmistamine:
Kõik vaakumkambrid läbivad heeliumi massispektromeetri lekkekatse, mille hülgamislävi on < 1 × 10^-9 Pa·m³/s.
Keevisõmbluse terviklikkus:
TIG-keevitus teostatakse inertgaasi varjestuse all, millele järgneb sisepinna passiveerimine ja mehaaniline poleerimine, et vähendada gaasi väljavoolu.
Tehase vastuvõtutest (FAT):
72-tunnine pidev kuiv-töökatse, mis mõõdab pumpamiskõveraid, e-püstoli pühkimistäpsust, blokeerimisreaktsiooniaegu ja termilist stabiilsust enne kastidesse panemist.
Vastavus ja standardid:
Toodetud ISO 9001 sertifitseeritud kvaliteedijuhtimissüsteemi alusel, koos süsteemidega, mis on projekteeritud nii, et need vastaksid CE-direktiividele ning asjakohastele SEMI (S2/S8) ohutus- ja ergonoomikajuhistele.
KKK
Oleme hästi-tuntud kui üks juhtivaid elektronkiire aurustamise õhukese kile seadmete tootjaid ja tarnijaid Hiinas. Kui kavatsete osta Hiinas valmistatud kohandatud elektronkiire aurustamise õhukese kile seadmeid, saate meie tehasest hinnakirja. Hinnakonsultatsiooni saamiseks võtke meiega ühendust.
