Mitme-kaare ioonsadestamise seadmed

Tööstuslik mitme{0}}kaare ioonsadestamise süsteem tekitab kõrge-voolu, madalpinge-katoodkaare aurustamise teel tihedaid, suure-adhesiooniga õhukesi kilesid. Tahked sihtmaterjalid (katoodid) aurustatakse reaktiivse gaasi atmosfääris (nagu N2, O2 või C2H2), et sünteesida stöhhiomeetrilisi ühendikatteid. See seade on konstrueeritud suureks, üle 80% ionisatsioonikiiruseks, annab erakordse kile-to-substraadi sidumistugevuse, mis sobib äärmuslike mehaaniliste koormustega keskkondades.

Magnetfiltreeritud kaare tehnoloogia:Integreeritud magnetpoolid juhivad makro{0}}osakesed ja tilgad substraadi voost eemale, luues täppisoptika ja lõiketööriistade jaoks ülisiledad tilkade-vabad pinnad.

Suletud-ahela gaasivoolu juhtimine:MKS massivoolu regulaatorid reguleerivad reaktiivgaasi osarõhku +/- 0.1 sccm stabiilsusläve piires reaktiivse sadestamise faaside ajal.

Substraadi temperatuuri juhtimine:Programmeeritavad kiirgusküttepangad koos tagumise argoongaasijahutusega hoiavad substraadi soojuseelarve vahemikus 150–600 °C.

Automatiseeritud protsessi retseptid:PLC{0}}põhine juhtimisarhitektuur, mis teostab mitme-etapilise sadestamise protokolle alates ioonide puhastamisest, gradiendi vahekihtide söövitusest kuni terminali funktsionaalse katmiseni.

Karastuspump:Rootsi puhuri ja pöörleva labaga mehaanilise pumba kombinatsioon (Leyboldi / Edwardsi baasjoon).

Kõrgvaakumpump:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

Hindamine ja torustik:Pneumaatilised roostevabast -terasest vaakumväravventiilid, pneumaatilised nurkventiilid ja elastomeer-tihendiga KF/ISO äärikud-testitud heeliumi massispektromeetria abil (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Surve jälgimine:Pirani ja külmkatoodiga kombineeritud ionisatsioonimõõturid annavad reaalajas tagasisidet{0}}atmosfääris kuni ülikõrgete vaakumivahemike{1}}ni.

Sihtmaterjalid:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

Substraadi materjalid:

• Tsementeeritud karbiidid (WC{0}}Co)
• Kiir{0}}teras (HSS)
• Legeerteras (SKD11, 316L, 4140)
• Titaanisulamid (Ti-6Al-4V)
• Tehnikakeraamika ja{0}}kuumuskindlad supersulamid

Lõike- ja vormimistööriistad:TiAlN-, AlCrN- ja TiCN-katete ladestamine otsafreesidele, sisetükkidele, pliidiplaatidele ja stantsimisvormidele, et tõsta pinna kõvadust 3200 HV-ni ja vältida abrasiivset kulumist.

Autode komponendid:Kõva süsinik (DLC) ja CrN sadestumine kolvirõngastel, kütuse sissepritsetihvtidel ja nukkvõllidel, et vähendada hõõrdetegurit alla 0,1 kuival töötamisel.

Meditsiinilised implantaadid:TiN ja ZrN bioloogiliselt ühilduvad difusioonkatted koobalt-kroomi ja titaaniga põlve- ja puusaliigestel, vähendades metalliioonide leostumist ja kulumisjäätmete teket.

Lennunduse riistvara:Oksüdatsioonikindlad{0}}tõkkekatted turbiinilabadele ja kinnitusdetailidele, mis töötavad kõrgendatud termilisel lävel.

Kambri geomeetria:Vertikaalne auk-tüüp, horisontaalne esi-laadimine või topelt-ukse-läbipääsu konfiguratsioonid, mis on kohandatud olemasolevate poe-korruste paigutusega.

Allika integreerimine:Hübriidkonfiguratsioonid, mis ühendavad katoodkaareallikaid tasakaalustamata magnetroni pihustuskatoodidega (Ums) ühes kambris.

Jigging ja kinnitusvahendid:Spetsiaalsed planetaarsed või topeltpöörlevad{0}}tööriistakinnitused, mis on konstrueeritud CAD/FEM-simulatsiooni abil konkreetsete komponentide geomeetria jaoks (nt pikad ekstrusioonistantsid või keerulised kirurgilised kruvid).

Kvaliteedijuhtimise standardid:Kavandatud, valmistatud ja testitud ISO 9001:2015 kvaliteedijuhtimis- ja ISO 14001 keskkonnajuhtimissüsteemide alusel.

Lennundus- ja meditsiiniline jälgitavus:Protsessi juhtelemendid ja dokumentatsiooniprotokollid on nõudmisel täielikult vastavuses NADCAP AC7102 (kuumtöötlus/pinna täiustamine) nõuetega.

Lekke terviklikkus:Iga vaakumnõu läbib heeliumi massispektromeetri lekketesti enne koostu -väljalülitamist.

Elektriohutus:Kõrge-pinge isolatsioonitakistuse testimine ja maanduse järjepidevuse kontrollimine vastavalt CE/IEC standarditele.

Katsetamine-lõpeta:Mehaaniliste pöörlemisajamite, vesijahutusega voolulülitite ja PLC blokeerimissüsteemide 72-tunnine pidev kuiv{2}}töökindluskatse.

Dokumentatsiooni esitatavad materjalid:Materjaliveski testimise sertifikaadid (MTC), vaakumi lekketesti sertifikaadid, elektrilised skeemipaketid ja NIST{0}}jälgitavad andurite kalibreerimisaruanded.

Saidi ettevalmistamise juhised:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/h), ümbritseva õhu temperatuurivahemikud, väljatõmbeventilatsioon ja elektrienergia langus (3-faasiline, 380 V/480 V, 50/60 Hz).

Kasutuselevõtu teenused:Kohapeal-mehaaniline positsioneerimine, vaakumtorustiku integreerimine, elektriühendus ja baasretsepti optimeerimine, mille viivad läbi resideerivad vanemteenindajad.

Operaatorkoolitus:5-päevane intensiivne kohapealne koolitus, mis käsitleb rutiinset hooldust, vaakumi tõrkeotsingut, sihtmärkide asendamise protokolle ja parameetrite häälestamist konkreetsete kilestruktuuride jaoks.

Varuosade laos:Kriitilised kulumiskomponendid (katoodiisolaatorid, pimedas ruumikilbid, dünaamilised tihendid ja hõõgniidimassiivid) on piirkondlikult laos 48 tunni jooksul lähetamiseks.