Kaaraurustamise õhukese kile süsteem

Tööstuslik katoodkaarega aurustusõhukeste kilede süsteem on loodud tihedate, tugevalt kleepuvate metalli-, sulami- ja keraamiliste kattekihtide{0}}kiirusel sadestamiseks. Madala -pinge ja suure-voolu kaarlahendusega tahketoodiga sihtmärkidel töötav süsteem aurustab materjali otse tugevalt ioniseeritud plasma olekusse (40% - 80% metalliioonide suhe). See juhib energilised ioonid substraadi liidesesse, tagades katte parema nakkuvuse võrreldes tavaliste termilise aurustamise või tavapäraste pihustusmeetoditega.

Tootmiskeskkondade ja täiustatud materjaliuuringute keskuste jaoks loodud süsteem ladestab kõvad, kulumiskindlad-triboloogilised kihid-nagu TiN, TiAlN, CrN ja AlCrN-lõiketööriistadele, vormimisvormidele ja täppismehaanilistele komponentidele. Modulaarne vaakumkamber mahutab skaleeritavad mitme-katoodi konfiguratsioonid ja automaatse 3-teljelise planetaarse pöörlemise, et tagada partiide-kordatavus.

Magnetilise{0}}roolikatoodi tehnoloogia:Suletud-ahelaga magnetväljad pühivad katoodipunkti üle sihtpinna, tõstes sihtmärgi kasutusmäära üle 55% ja pärssides lokaliseeritud sihtmärgi kraatrite teket.

Kõrge ionisatsioonikiirusega plasma genereerib metalliioonide suhteid kuni 80%, tagades kõrge kineetilise energia tiheda kile kasvuks ja sügavaks metallurgiliseks difusiooniks substraadi liidesel.

Programmeeritav mitme{0}}kihiline ladestamine:Tööstuslik PLC koos HMI juhtimisarhitektuuriga teostab reaktiivsete gaaside (N2, O2, C2H2) automatiseeritud järjestamist funktsionaalsete gradient- ja nanokihiliste kattearhitektuuride jaoks.

In-Situ plasmasöövitus:Integreerib metalliioonide pommitamise ja tasakaalustamata magnetroni puhastamise etapid enne sadestamist, et eemaldada looduslikud oksiidid ja pinnasaasteained.

Vaakum-allsüsteem on konstrueeritud kiireks pumba{0}}alla tsükliks ja stabiilseks töörõhuks pideva reaktiivgaasi sisendil:

Roughing & Roots etapp:Otseajamiga-roots-puhuriga ühendatud rootor- või kuivkruvipump, mis tühjendab kambri atmosfäärirõhult 10 Pa-ni 5 minuti jooksul.

Kõrgvaakumi staadium:Magnetlevitatsiooniga turbomolekulaarpump, mis tagab veeauru ja jääkgaaside suure mahulise pumpamise kiiruse, kindlustades baasrõhu sihtmärgid alla 5,0 x 10^-4 Pa.

Klapid ja mõõturid:Pneumaatilised paisuventiilid ja elektro-pneumaatilised nurkventiilid, mis on integreeritud täis-pirani/Penningi kombineeritud mõõturitega automatiseeritud turvablokeeringuteks.

Rõhu reguleerimine:Suletud-ahela mahtuvusmanomeetri tagasiside, mis on ühendatud suure-täpsete massivooluregulaatoritega (MFC), et stabiliseerida reaktiivgaasi osarõhku reaktiivse sadestamise ajal.

Sihtmaterjalid
Puhtad metallid:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Nb.

Sulami sihtmärgid:TiAl (50/50, 33/67), TiSi, CrAl.

Süsinik:Grafiidist sihtmärgid teemandi{0}}nagu süsiniku (DLC) hübriidsadestamise jaoks.

Substraadi ühilduvus
Kõvadmetallid / tsementeeritud karbiidid:WC-Kaaslõiketerad, otsafreesid ja vormitööriistad.

Kiir{0}}terased (HSS):Kraanid, keerdpuurid ja tõmblused.

Tehnilised terased:Roostevaba teras, titaanisulamid ja kõrgtemperatuurilised-nikli-põhised supersulamid.

Struktuurne keraamika:Triboloogilist modifitseerimist vajavad alumiiniumoksiidi ja räni nitriidi komponendid.

Lõike- ja töötlemistööriistad:TiAlN- ja AlCrN-katete sadestamine karbiidist sisetükkidele, et tõsta oksüdatsioonikindlust kuni 900 °C ja pikendada tööriista eluiga suurel-kuivlõikamisel.

Autode komponendid:Kolvirõngaste, klapitõstukite ja kütuse sissepritsetihvtide kõva kate, et vähendada piirhõõrdetegurit alla 0,1 ja vältida hõõrdumist.

Vormid ja stantsid:CrN- ja TiCN-kilede kandmine plastist survevaluvormidele ja metallist stantsimisvormidele, et vältida liimi kulumist ja materjali määrdumist.

Lennunduse riistvara:Kaitsvad erosioonikindlad{0}katted täppiskinnititele ja kompressori komponentidele, mis töötavad söövitavas keskkonnas.

Kambri geomeetria:Vertikaalsed kaevu -stiilis laadimis- või horisontaalsed esi{1}}laadimisuksed, mis on kohandatud poe-põranda paigutusega.

Hübriidallika integreerimine:Kahe-tehnoloogia konfiguratsioon, mis ühendab katoodkaare aurustid tasakaalustamata magnetroni pihustuskatoodide (UBMS) või lineaarsete ioonpüstolitega.

Automatiseerimise tase:Tehase integreerimisvõimalused, sealhulgas automatiseeritud robotlaadimisvarred või puhasruumi vaheseinale kinnitamine.

Jõuelektroonika:Kohandatud impulsspingegeneraatorid, mis on optimeeritud substraatide või temperatuuritundlike{0}}alusmaterjalide isoleerimiseks.

Lekke tuvastamine:Heeliumi massispektromeetri lekketestid viidi läbi kõikidel vaakumkambritel ja keevisõmblustel, hoides kogu lekkemäära alla 1,0 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Elektriohutuse audit:Isolatsioonitakistuse ja maanduse järjepidevuse testimine vastab CE- ja elektriohutusstandarditele.

Funktsionaalne kuivjooks:Mehaaniliste pöörlemisajamite, ventiilide järjestuse ja jahutusvee voolublokeeringute 72-tunnine pidev automatiseeritud kuivtsükli test.

Protsessi kinnitamine (FAT):Valikuline viide TiN-katete pealekandmine kliendi{0}}kaasasolevatele testkupongidele, et kontrollida kile paksuse ühtlust, nano-kõvadust ja kriimustuste adhesioonitugevust enne kastidesse panemist.

Saidi ettevalmistamise juhend:Üksikasjalik rajatise tehniline dokumentatsioon, mis hõlmab põranda koormuse piirmäärasid, väljalasketorusid, jahutusvee spetsifikatsioone ja elektrikatkestusi, esitati 4 nädalat enne tarnimist.

Kohapealne kasutuselevõtt-:Teenindusinsenerid jälgivad mehaanilist positsioneerimist, ühendusi, vaakumtihendust ja elektrilist integreerimist.

Protsessi koolitus:Praktilised-operaatorikoolitused, mis hõlmavad kambri hooldust, sihtmärkide asendamise protokolle, vaakumi tõrkeotsingut ja retseptide haldamist.

Kaugdiagnostika:Juhtkappi integreeritud turvaline tööstuslik VPN-lüüs tarkvara kaugvärskenduste, parameetrite logimise analüüsi ja tõrkediagnostika jaoks.